檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "pneumatic".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="壓電致動器"
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本文旨在應用模糊滑動控制理論於非對稱型單桿氣壓缸及無桿氣壓缸並結合壓電致動器所發展出之長行程奈米精度伺服XYZ三軸定位系統與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償,整個定位行…
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本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器,發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸,YZ 兩軸固定在一起,構成龍門型…